全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

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财联社 8 月 14 日电，据杭州 · 日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机 " 羲之 " 已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了 " 中国刻刀 "。在测试现场，浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。" 这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！" 团队负责人告诉记者，依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机 " 羲之 " 已正式投入市场。

" 羲之 " 取名自书法家王羲之，" 只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。" 研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上 " 手写 " 电路，精度达到 0.6nm，线宽 8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。